|  |
| |
| Artikel-Nr.:
5667A-9783540176701 Herst.-Nr.:
9783540176701 EAN/GTIN:
9783540176701 |
| |
|
| | |
| 1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit. Weitere Informationen: | | Author: | N. Bündgens; Günter Schumicki; T. Evelbauer; Peter Seegebrecht; H. Fehling; J.-H. Fock; J. Frick; R. Schneider; B. Strycharczyk; F. Zimmermann | Verlag: | Springer Berlin | Sprache: | ger |
|
| | |
| | | |
| Weitere Suchbegriffe: allgemeine technikbücher, CMOS, Entwicklung, Mikroelektronik, Prozeßtechnologie, Reinraumtechnik, Schaltung, Zuverlässigkeit, Prozesstechnik, Elektronik / Schaltung, Schaltung - Grundschaltung, Standardschaltung |
| | |
| |