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Modelling of Microfabrication Systems


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Produktinformationen
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Artikel-Nr.:
     5667A-9783642055362
Hersteller:
     Springer Verlag
Herst.-Nr.:
     9783642055362
EAN/GTIN:
     9783642055362
Suchbegriffe:
allgemeine Technikbücher
allgemeine Technikbücher - englisch...
allgemeine technikbücher - englisch...
1 Ion Beam.- 2 X-ray Lithography.- 3 Laser Chemical Vapor Deposition.- 4 Laser Photopolymerization.- 5 Laser Ablation.- 6 Thin Films.- References.
Weitere Informationen:
Author:
Raja Nassar; Weizhong Dai
Verlag:
Springer Berlin
Sprache:
eng
Weitere Suchbegriffe: Chemical vapor deposition, High Aspect Ratio, Ion beam, Laser ablation, MEMS, Microtechnology, Photopolymerization, X-ray lithography, development, laser, machining
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